yabo.com金融界 2024 年 9 月 3 日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种涂层清洗方法及气体扩散装置“，公开号 CN5.0，申请日期为 2023 年 3 月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种涂层清洗方法及气体扩散装置，涂层清洗方法包括：提供一待处理部件，所述待处理部件包括部件本体和覆盖于所述部件本体表面含钇或锆的耐腐蚀涂层；所述耐腐蚀涂层表面包括污染层，所述污染层中含有卤族元素；向所述污染层引入酸性气体或酸性蒸汽以与所述污染层发生反应；超声清洗、兆声清洗或者高压冲洗所述污染层，使所述污染层从所述耐腐蚀涂层表面脱落。控制气体的通入量和通入时间，能够使污染层被刚好被去除而不过多影响耐腐蚀涂层。